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中频和直流电源

中频和直流等离子电源涵盖中频正弦波、中频方波、直流、直流脉冲、直流脉冲偏压等多种输出规格,广泛应用于PVD、PECVD等真空镀膜应用场景。

助力光伏PECVD镀膜增产提质提效


面向通用镀膜场景开发的多功能、高性能电源


真空镀膜设备优质膜层沉积的法宝


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