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PB1200系列直流脉冲偏压等离子电源

PB1200系列直流脉冲偏压等离子电源

产品特点

PB1200是汇川技术为等离子镀膜设备反向偏压场景开发的电源。单机额定输出功率20KW,最大输出电压1200V,反向偏压最大输出电压100V,输出频率2kHz~100kHz可调,具有快速灭弧和高精度功率输出的能力;适用于物理气相沉积设备(PVD),可应用于真空行业PVD镀膜设备、光伏行业异质结电池片镀膜等场景。

反压脉冲

最大支持100V瞬间反压输出,能量瞬间释放,提升膜层品质

可靠运行

精细化电路设计,扎实可靠器件选型,提升运行稳定性

输出稳定

输出电压波动降低,提升镀膜稳定性

方案优势

方案组成

成功案例